electrical properties of cr/crn nano-multilayers produced by the unbalanced magnetron sputtering technique

Peliculas de nitruro de cromo (CrN) se han aplicado como recubrimientos protectores contra el desgaste y la corrosion debido a sus excelentes propiedades mecanicas y alta resistencia a la corrosion, y en el campo electronico debido a su baja resistividad. Sin embargo, se ha encontrado que las multicapas que combinan peliculas metal/ceramico podrian mejorar las propiedades en comparacion a sus contrapartes en monocapa debido al aumento e interaccion entre interfaces. En este trabajo se produjeron nano-multicapas de Cr/CrN a traves de la tecnica de sputtering con magnetron desbalanceado con tres grados de desbalanceo diferentes para estudiar la influencia de este parametro en las propiedades electricas. Se crecieron multicapas con un espesor total de aproximadamente 1 microm y un periodo de bicapa (A) de 200 nm, 100 nm y 20 nm. Las multicapas se produjeron a temperatura ambiente sobre acero H13 y silicio (100) y se estudio su microestructura y las propiedades electricas en funcion del campo magnetico. La formacion de fases se caracterizo a traves de Difraccion de Rayos X y los resultados muestran las orientaciones (111) y (200) para todas las multicapas. Se obtuvieron imagenes de la seccion transversal a traves de Microscopia Electronica de Barrido y los resultados muestran la formacion de una estructura en multicapas.